不活性気体の気流中に置いたコイルに、数〜数十kWの高周波発振器から高周波電流を流すと無極放電プラズマが発生するので、
この中に試料を混入して分校分析する方法をいう。
発光・吸光の両方法ができるが、プラズマの温度が約7000Kで高いので、主として発光分析の光源に用いられる。
試料をキャリヤーガス中に噴霧する方法が多いがスパッタやアーク放電で固体試料を気化導入する方法もある。
化学干渉やイオン干渉が少ない。検量線の直線範囲が広い。P,B,Sなどが分析可能。
Al,Si,Ti,Zrなども高感度で分析でき、光源用ランプ不要。多元素同時分析が可能など多くの優れた特徴を持っている。＝誘導結合高周波プラズマ分校分析

お悩み解決事例はこちらから ＞