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ITO(あいてぃーおー)
酸化インジウム(In2O3)は導電性を有するが、これに酸化すず(SnO2)を数〜10%加えて、さらに導電性を高めたものをいう。
ITOをスパッタリングターゲットに加工し、ガラス板にスパッタリングすると透明な導電膜が得られる。あるいは、ITOを溶融して、
ガラス板を溶液に浸漬したりしてから焼き付けすることにより透明電極膜が得られる。
ポリエチレンなどのフィルムにITOを被覆したものは透明電導性フィルムと呼ばれ、ディスプレイのELパネルの発光面電極、
液晶パネル、透明スイッチ、面発熱体などで使用される。