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CVD(しーぶいでぃー)
英】〖chemical vapor deposition〗→化学気相成長 半導体・絶縁体・金属などをガスにして、加熱した基板上で化学反応により堆積させ、薄膜を形成する技術。化学的気相成長法。化学蒸着法。 「真空めっき(P …
英】〖chemical vapor deposition〗→化学気相成長 半導体・絶縁体・金属などをガスにして、加熱した基板上で化学反応により堆積させ、薄膜を形成する技術。化学的気相成長法。化学蒸着法。 「真空めっき(P …
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