種々の方式でプラス（＋）の電荷を与えて蒸発金属をイオン化し、被めっき物をマイナス（➖）にして両者間を高電圧にしておこなう真空蒸着法。
樹枝状結晶（じゅしじょうけっしょう）などの生成はイオンの衝撃で妨げられ、等方的な結晶組織になり、膜の密度が高く、化合物皮膜も得られる。
金色で硬いTiNをめっきした時計バンド、めがねフレーム、ドリル、その他の工具の製造などに利用されている。→真空蒸着

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