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めっき・表面処理用語集

スパッタリング（すぱったりんぐ）

加速された粒子が固体表面に衝突したとき、運動量の交換によって固体を構成する原子が空間へ放出される現象及びこの現象を用いた成膜法。

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この記事の著者は

株式会社小池テクノ　代表取締役　大橋　一友

株式会社 小池テクノ　代表取締役社長
大橋　一友
毒物劇物取扱責任者
水質関係第二種公害防止管理者
特定化学物質及び四アルキル鉛等作業主任者
化学物質管理者
特別管理産業廃棄物管理責任者
危険物取扱者乙種4類